Capability · 能力概述
从装备到工艺的自主可控
设备与工艺同源开发，生长参数可直接反馈至材料规格与批量一致性控制。
01
装备自研
腔体结构、微波耦合与温场控制由公司自主设计并完成工程化验证。
02
工艺沉淀
不同尺寸与厚度对应的生长窗口形成参数库，支撑规格稳定复现。
03
产能协同
多台设备并行组织生产，按订单规格灵活分配产线资源。
自主研发的微波等离子化学气相沉积设备体系，覆盖 3 英寸至 8 英寸晶圆制备能力，支撑单晶与多晶金刚石的规模化生长。
设备与工艺同源开发，生长参数可直接反馈至材料规格与批量一致性控制。
腔体结构、微波耦合与温场控制由公司自主设计并完成工程化验证。
不同尺寸与厚度对应的生长窗口形成参数库，支撑规格稳定复现。
多台设备并行组织生产，按订单规格灵活分配产线资源。